Focus anulus seu margines annuli ad meliorem etch uniformitatem ordinantur circa marginem lagani vel perimetri.
Anuli umbilici semicorex pii carbide obductis utentes vaporum chemicorum depositionis (CVD) resistentiam caloris superiori praebent, etiam thermarum uniformitas ad crassitudinem et resistentiam epi- strati consistentis, et resistentia chemica durabilia, quae ad resistendum extremi ambitus in plasmate etching vel sicco processu cingulo structi sunt. .