Quid sunt graphite susceptores SiC iactaret?

Ipsumque (base) sustentans SiC laganum, cognominatus est "susceptor"Est nucleus componentis semiconductoris instrumenti fabricandi. Et quidnam est susceptor iste qui lagana portat?

In processu lagani fabricandi, subiectae adhuc opus sunt ut cum epitaxialibus stratis ad fabrica fabricationis fabricandum sit. Typical exempla includitDUXERIT emitterequae requirunt GaAs epitaxiales stratis superne substratis pii; in substratis conductivis SiC, strati SiC epitaxiales creverunt ad machinas sicut SBDs et MOSFETs, adhibitis in alta intentione et applicationibus currentibus; onsemi-insulating SiC subiecta, strata epitaxialis gaN constructa sunt ad machinas construendas sicut HEMTs, adhibitis in RF applicationibus quasi communicationibus. Hic processus gravis innititur in apparatu CVD.

In apparatu CVD subiectae non possunt directe collocari in metallo vel basi simplici pro epitaxiali depositione, cum varias causas influentes, sicut directionem fluunt gas (horizontalem, verticalem), temperiem, pressionem, stabilitatem, et remotionem contaminantium. Ergo necesse est turpe in quo subiectum praeponitur uti technologia CVD ad epitaxiales stratis in subiecto deponendi. Hoc notum est basis aSiC-coated graphite susceptor(also/tray/tabellarius).

SiC-acceptatores graphite iactantes communiter usi sunt in depositione vaporum chemicorum metalorganicorum (MOCVD) instrumenti ad sustentationem et calorem unius crystalli subiectae. Scelerisque stabilitas et uniformitas susceptores graphite SiC iactaret munus magnum habent in determinando qualitatem materiae incrementi epitaxialis, easque componentes criticos de apparatu MOCVD faciendo.

MOCVD technologia nunc est amet ars crescendi gaN tenues epitaxiae pelliculae in productione caeruleo LED. Commoda praebet ut simplex operatio, moderatior incrementum rate, et alta puritas productorum GaN tenuis membrana. Susceptores pro tenui cinematographico epitaxiali incremento adhibiti, cum magna pars intra MOCVD armorum reactionem cubiculum, necesse est ut caliditas resistentia, conductivity uniformis scelerisque, stabilis chemicae bonae, et ad concursum scelerisquerum validum resistendum sit. Graphite materiae his requisitis occurrere possunt.

Graphitae susceptores unum e instrumentis nucleorum in apparatu MOCVD et emittentes portantes et calor lagana subiecta, directe influentes uniformitatem et puritatem materiae cinematographicae. Qua de re, qualitas eorum directe afficit praeparationem Epi-Wafers. Tamen, per productionem, graphites exstirpare et degradare potest propter praesentiam gasorum corrosivorum et compositionum metalorganicorum residualium, signanter minuendo spatium susceptorum graphitorum. Praeterea graphite lapsi pulveris contagionem in astulas causare potest.

Eventus technologiae technologiae solutionem huius problematis praebet, praebens solidi pulveris solidamentum, scelerisque conductivity auctus, et caloris aequabilis distributio. Litura in superficie susceptorum graphitarum adhibitorum in ambitu MOCVD instrumentorum has notas possidere debet:

1. Facultas ad basin graphiticam plene adnectenda cum bona densitate, sicut susceptor graphitus recipit corrosionem in ambitus gasi corrosivi.

2. Fortis compages cum susceptore graphite curandi ut litura non facile post multiplices cyclos summus temperatus et humilis temperaturae seiungat.

3. Praeclara stabilitas chemica ne efficiat inefficax in atmosphaeras summus temperatura et corrosiva. SiC commoda habet ut corrosio resistentia, magna conductivity scelerisque, resistentia ad concussionem thermarum, et stabilitatem chemicam altam, eam faciens specimen operandi in atmosphaera epitaxial GaN. Praeterea Sceleris expansio coëfficientis SiC valde propinqua est cum graphite, eamque potiorem materiam superficiei susceptorum graphitorum efficiens.

Semicorex susceptores graphitatos CVD SiC linivit, partes SiC nativus producens, ut lintres lagani, paxulae cantilenae, fistulae, etc. Si quas inquisitiones habes vel singula alia requiras, quaeso ne dubita nobiscum attingere.

Contactus telephonicus # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com