What are the Pros and Cons of Dry Etching and Wet Etching?

1. Quid sunt arida et humida Etching?

Arida engraving est ars quae nullum liquorem involvit, sed utens plasmate vel reactivo gasorum ad notificandum solidam materiam in superficie laganum. Haec methodus necessaria est in productionibus maxime chippis productis, ut DRAM et Flash memoriae, ubi humidum etinging uti non potest. Infectum autem engraving involvit usum solutionum chemicarum liquidarum ad notificandam materiam solidam in superficie laganum. Dum non universaliter omnibus products chippis applicatur, infectum etching late adhibetur in fasciculo lagano, MEMS, artificiis optoelectronic et photovoltaicis.

2. What are the Characteristics of Dry and Wet Etching?

Primum notiones isotropicae et anisotropicae etchationis clarificemus. Isotropica engraving refert ad ratem enchiridion, quae in eodem plano undique uniforme est, similis quomodo circulorum aequaliter diffundatur, cum lapis in aquam placidam mittitur. Anisotropica engraving significat ratem enchiridion variat in diversis partibus in eodem plano.

Infectum engraving est isotropica. Cum laganum cum solutione et etching attingit, deorsum angit, et ensam lateralem efficit. Haec engraving lateralis lineae definitae potest afficere latitudinem, ducens ad notabiles errores engraving. Sic, humidum etching provocat ad praecise ad fingendas figuras moderandas, et minus apta ad minus apta quam ad 2 micrometris.

E contra, arida engraving admittit subtilius imperium de enchiridion figurae et flexibiliores engraving modos praebet. Sicca engraving potest utrumque isotropicum et anisotropicum etching. Anisotropica etching producere potest acuminata (angulus 90 gradus) et perfiles verticales (angulus ≈90 gradus).

Summatim:

1.1 Arida Etching Commoda (exempli causa, RIE)

Directio: Potest consequi altam directionalitatem, consequens latera verticalis et aspectum excelsum rationum.

Selectivity: Potest se optimise etingificationem selectivam eligendo vapores et parametri specificas engraving.

Alta Resolutio: Apta lineamentis subtilibus et fossa profunda etching.

1.2 Infectum Etching Commoda

Simplicitas et cost-efficacia: Liquores et apparatus etching plerumque magis oeconomici sunt quam qui aridum etingificationem adhibentur.

Uniformitas: Providet laganum per totum uniforme etching.

No Complex Equipment Needed: Typice tantum requirit tingens balneum vel nent-coctantem apparatum.

3. eligens inter arida et infectum Etching

Primum, secundum processum requisita chip productum, si modo arida CSCRIPSIT facere potest etching negotium, elige arida engraving. Si et aridum et umidum et enigmata requisita implere possunt, humidum et ingluvies plerumque praeponitur propter suam efficaciam gratuitam. Si accurata potestas super lineam latitudinem vel perpendiculum/percussos angulos necessaria est, optare aridam engraving.

Sed certae peculiares structurae adhibendae sunt utens umido etingificatione. Exempli gratia, in MEMS, pyramis inversa structura Pii signatae soli nonnisi per enodationem humidam perfici potest.**