Quid est Electrostatic Chuck(ESC)?

In fabricandis semiconductoribus, praecisio et stabilitas processus escellos precipui sunt. Una factor criticus in assequendo qualitatem etching summus est ut lagana in lance in processu perfecte plana sint. Quaevis declinatio ad bombardarum inaequalitatem perducere potest, causando angulos incommodi et variationes in rates enchiridion. Ad has provocationes electronicas fabrum elaboraveruntElectrostatic Chucks (ESCs)quae signanter emendaverunt etingificationem et qualitatem et stabilitatem. Articulus hic in consilium et functionem ESCs incidit, in unum aspectum clavis ponens: principia electrostatica post laganum adhaesionem.

Electrostatic Wafer Adhesio

Principium postESClaganum laganum in eius consilio electrostatica firmam tenere facultatem. Electrode figurarum primariae duae sunt inESCs: single-electrode and dual-electrode designs.

Uno-Electrode Design: In hoc consilio, tota electrode aequaliter per thea diffunditurESCsuperficiem. Dum efficax est, mediocritatem adhaesionis vim praebet et campi uniformitatem.

Dual-Electrode Design: Consilium autem dual-electrodum tam positivo et negativo utitur voltis ut campum electrostatic fortius et uniformius creet. Hoc consilium adhaesionem maiorem vim praebet et efficit ut laganum arcte et aequaliter trans superficiem ESC teneatur.

Cum DC voltage ad electrodes applicatur, campus electrostaticus inter electrodes et laganum generatur. Hic ager patet per stratum insulantem et reciprocum cum lagano interiori. campus electricus crimina in superficie lagana facit ad redistribuendum vel polarizandum. Nam lagana pii liquatae, gratuita onera sub impressione campi electrici movent, crimina affirmativa versus electrode negativa movent, et crimina negativa versus electrode positiva movent. In casu lagana inaugurata vel insulating, campus electricus levem obsessionem causat internorum stipendiorum, dipoles faciendi. Electrostatica inde vis laganum ad chlamydem firmiter adhaeret. Fortitudo huius virium approximari potest utens lege Coulomb et viribus campi electrici.