Structura Electrostatica Chuck(ESC)

AnElectrostatic Chuck (ESC)machina usus est lagana semiconductoris loco in processibus tenendi, ut engraving, depositio, vel politio. Operatur campum electrostaticum generando ad attrahendum et secure tenendum laganum in superficie monax, stabilitatem et accuratam alignment in lagano tractando providens. ESCs late adhibentur in fabricandis semiconductoribus ad accurationem processus melioris et efficientiam laganum tractantem.

Ipsa imago conventionalelectrostatic monax (ESC)in figura depingitur. Prima differentia inter exempla iacet in materia iacuit insulating in superficie monax electrostaticae. In figura color niger nitridum aluminium repraesentat, color albus aluminium oxydatum. Structuraelectrostatic monaxex pluribus partibus constat;

I. Insulating Stratum: Haec iacuit laganum contactum, typice factum ex aluminio nitride aut alumine oxydi ceramici ob excellentem vim mechanicam, caliditas resistentiam, et bonum scelerisque conductivity.

2. ** Ejector Pin et ipse Gas Hole: Ejector paxillus ordinatur ad laganum transferendum. Cum laganum anaglyphum intrat, eiector clavum oritur ut eam sustineat, deinde demittit ut laganum in superficie phocae electrostaticae ponat. Clavus eiector plerumque structuram cavam habet, permittens belium gasum introduci ad laganum refrigerandum adiuvandum.

3. **Rursus fluit Channel: haec pars auget dissipationem caloris et adsorptionem lagani faciliorem reddit.

4. Electrostatic Electrode: Hoc electrode gignit campum electricum, qui vim electrostaticam creat, ut laganum in loco teneat necesse est. Electrode typice plana est et vel intus inseritur vel in materia insulating deponitur. Communiter adhibendae materiae conductivae sunt aluminium, cuprum, tungsten.

V. Aqua refrigerans et Electrode calefaciens: Haec elementa principaliter sunt responsabilitas altiore temperaturae machinæ electrostaticæ. Electrode calefactio et aqua refrigerans circulens opus tandem ad stabilitatem laganum stabiliendam conservandam est. Solo fretus in aqua frigida circulens potest non posse efficere calorem generatum in processu etching, in potentia ad processum stabilitatem componens.  

Semicorex praebet summus qualisElectrostatic Chuck(ESC). Si quid percontationes habes vel etiam singula egent, quaeso ne dubita nobiscum attingere.

Contactus telephonicus # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com