Superficiem curatio est summus finis Electrostatic Chuck

Theelectrostatic monaxmulta munera suscipit ut missionem electrostaticae uniformis, conductionis caloris et lagani adsorptionem et fixationem in agro vestibulum semiconductoris. Una functionum nucleorum ESC est adsorb lagana sub extrema condicione operativae stabiliter ut altum vacuum, plasma validum et amplitudo temperatura ampla.

Id quod in agendis revera definit, non est structura externa aut formula materiali basis, sed processus curationis superficiei. Sine curatione professionali sequentia problemata in operatione occurrentur;

1. Plasma exesa et metalli ion contagione

Superficies ceramicae nudae vulnerari possunt ad plasma exesum in etching vel CVD processus occasus. Hoc genus exesionis directe consequi potest in emissione metallorum vel particularum ceramicarum effusio, ita laganum contaminans.

2. Inaequale scelerisque conductivity et warpage deformatio

Superficies aspera vel pauper curationis effectus in contactu inaequabili inter laganum et laganumESCcaloris conductio impediens et uniformitatem afficiens CD.

3. instabilis electrostatic adsorption

Inaccurate moderatio superficiei veliti effectus seu conductivity e chuck electrostaticae facile perducere potest ad insufficiens adsorptionem vim vel nimiam adsorptionem, tandem directe afficiens cede lagani processus.

Superficies summus finis ESCs saepe compositionem multi-circuli structurae designat, praecise regulans functiones areas per coatingas ad veram perficiendi integrationem consequi.

Communis superficiei curatio technologiae summi finis ESCs:

1.Fluoropolymer non-tenaces coatings (ut PTFE et PFA)

Hoc genus coatingis maxime convenit ad ambitus processus humilitatis temperaturae propter suam humilitatis superficiem liberam energiam, quae efficaciter impedit adsorptionem residua photoresist.

2. Diamond-Sicut Carbon (DLC) coatings

Cum magna duritia, resistentia plasma et coefficiens humilis frictio, apta sunt ad applicationes anti-erosionis et anti-particulae elongationis in apparatu etching.

3. cinematographica PVD conductiva (ut CrSiN et TiN)

Hoc genus coating iter in specifica area stabilem conductivum construere potest, ac per hoc problema criminis cumulationis localis efficaciter vitare, aequabili missione superficiei criminum prorsus moderante.

4.Composite scelerisque PROLIXUS coatings (ut adamas pulveris ac fluoropolymer hybrid coating)

Hoc genus efficiens qualitates non-tenaces componit cum conductivity scelerisque, et eius altiore observantia potest praecise aequare applicationes exigentiis altae subtilitatis scelerisque moderaminis ESC.