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IV Inch N-genus Sic Ingot Specification |
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Items |
Productio Grade |
Dummy Grade |
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Polytypus |
4H |
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Dopant |
n-genus Nitrogenium |
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Resistentia |
0.015~0.025 olim ·cm |
0.015~0.028 olim ·cm |
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Diameter |
100.25±0.25 mm |
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Crassitudo |
≥15 mm |
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Superficiem sexualis errore |
4° ad<11-20>±0.2° |
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Prima plana propensionis |
[1- 100]±5.0° |
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Prima plana longitudo |
32.5±1.5 mm |
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Secundarium plana |
90.0° CW e ± 5.0°, pii faciem sursum |
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Secundarium planae longitudinis |
18±1.5 mm |
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Micropipe density |
≤0.5 ea/cm2 |
≤10 ea/cm2 |
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BPD |
≤2000 ea/cm2 |
-- |
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TSD |
≤500 ea/cm2 |
-- |
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Ora Cracks |
≤3 of,≤1mm/ea |
≤5 of,≤3mm/ea |
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Polytypus areis |
Nullus |
≤5% area |
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ora indents |
≤3 ea,≤1mm latum et profundum |
≤5 ea,≤2mm latum et profundum |
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Label |
C-face |
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Packaging |
unit-ungot cassette vacuum packaging |
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VI Inch N-genus Sic Ingot Specification |
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Items |
Productio Grade |
Dummy Grade |
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Polytypus |
4H |
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Dopant |
n-genus Nitrogenium |
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Resistentia |
0.015~0.025 |
0.015~0.028 |
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Diameter |
150.25±0.25 mm |
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Crassitudo |
≥15 mm |
|||||||
Superficiem sexualis errore |
4° ad<11-20>±0.2° |
|||||||
Prima plana propensionis |
[1- 100]±5.0° |
|||||||
Prima plana longitudo |
47.5±1.5 mm |
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Micropipe density |
≤0.5 ea/cm2 |
≤10 ea/cm2 |
||||||
BPD |
≤2000 ea/cm2 |
-- |
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TSD |
≤500 ea/cm2 |
-- |
||||||
Ora Cracks |
≤3 of,≤1mm/ea |
≤5 of,≤3mm/ea |
||||||
Polytypus areis |
Nullus |
≤5% area |
||||||
ora indents |
≤3 ea,≤1mm latum et profundum |
≤5 ea,≤2mm latum et profundum |
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Label |
C-face |
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Packaging |
unit-ungot cassette vacuum packaging |
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VIII Inch N-genus SiC Ingot Specification |
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Items |
Productio Grade |
Investigatio Gradus |
Dummy Grade |
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Polytypus |
4H |
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Dopant |
n-genus Nitrogenium |
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Resistentia |
0.015~0.028 |
0.01~0.04 |
QUOD' |
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Diameter |
200.25±0.25 mm |
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Crassitudo |
QUOD' |
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Superficiem sexualis errore |
4° ad<11-20>±0.5° |
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SCARIFICATIO orientationis |
[1- 100]±5.0° |
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SCARIFICATIO profundum |
1~1.5 mm |
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Micropipe density |
≤2 ea/cm2 |
≤10 ea/cm2 |
≤50 ea/cm2 |
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BPD |
≤2000 ea/cm2 |
≤500 ea/cm2 |
-- |
|||||
TSD |
≤500 ea/cm2 |
≤1000 ea/cm2 |
-- |
|||||
Ora Cracks |
≤3 of,≤1mm/ea |
≤4 of,≤2mm/ea |
≤5 of,≤3mm/ea |
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Polytypus areis |
Nullus |
≤20% area |
≤30% regio |
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ora indents |
≤3 ea,≤1mm latum et profundum |
≤4 ea,≤2mm latum et profundum |
≤5 ea,≤2mm latum et profundum |
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Label |
C-face |
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Packaging |
unit-ungot cassette vacuum packaging |