Semicorex varias praebet unctas 4H et 6H SiC. Fabrica et lagana multos annos fuimus. Nostra duplex-polita 6 Inch N-type SiC Wafer bonum pretium commodum habet et maxime mercatus Europae et Americanus tegunt. Expectamus ad longum tempus socium in Sinis fieri.
Semicorex integram carbidam silicon (SiC) lagani productam lineam, inclusis 4H et 6H substratam cum N-typo, P-type et lagana semi-insulating alta puritatis, possunt esse cum vel sine epitaxy. Nostrum 4-inch N-type SiC (carbide pii) substrata est species lagani summus qualitas ex uno crystallo carbidi pii cum N-typo doping, quod duplex politum est.
6 Inch N-type SiC Wafer maxime adhibetur in novis vehiculis energiae, summus intentionis transmissionis et substationis, bona alba, impedimenta alta velocitatis, motores electrici, inverters photovoltaici, potentiae pulsus commeatus et alii agri, quae habent commoda instrumentorum minuendi. industria detrimentum, instrumentorum melioris firmitas, instrumentorum amplitudo minuens et instrumentorum melioris effectus, et commoda irreparabilia in electronicis artibus faciendis habent.
Items |
Productio |
Inquisitionis |
phantasma |
Crystal Parameters |
|||
Polytypus |
4H |
||
Superficiem sexualis errore |
<11-20>4±0.15° |
||
Electrical Parameters |
|||
Dopant |
n-genus Nitrogenium |
||
Resistentia |
0.015-0.025ohm·cm |
||
Mechanica Parameters |
|||
Diameter |
150.0±0.2mm |
||
Crassitudo |
350±25 μm |
||
Prima plana propensionis |
[1-100]±5° |
||
Prima plana longitudo |
47.5±1.5mm |
||
Secundarium plana |
Nullus |
||
TTV |
≤5 μm |
≤10 μm |
≤15 μm |
LTV |
≤3 μm(5mm*5mm) |
≤5 μm(5mm*5mm) |
≤10 μm(5mm*5mm) |
Arcum |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
Warp |
≤35 μm |
≤45 μm |
≤55 μm |
Frons (Si-face) asperitas (AFM) |
Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
||
Structure |
|||
Micropipe density |
<1 ea/cm2 |
<10 ea/cm2 |
<15 ea/cm2 |
Metallum immunditiae |
≤5E10atoms/cm2 |
QUOD' |
|
BPD |
≤1500 ea/cm2 |
≤3000 ea/cm2 |
QUOD' |
TSD |
≤500 ea/cm2 |
≤1000 ea/cm2 |
QUOD' |
Ante Quality |
|||
Front |
And |
||
Superficiem metam |
Si-face CMP |
||
Particulas |
≤60ea/laganum (size≥0.3μm) |
QUOD' |
|
Exasperat |
≤5ea/mm. Cumulativo longitudo ≤Diameter |
Cumulative length≤2*Diameter |
QUOD' |
Orange cortices / foveas / maculas / striations / rimas / contagione |
Nullus |
QUOD' |
|
Ora eu / indents / fractura / hex p |
Nullus |
||
Polytypus areis |
Nullus |
Cumulativo area≤20% |
Cumulativo area≤30% |
Ante laser vestigium |
Nullus |
||
Back Quality |
|||
Retro metam |
C-faciem CMP |
||
Exasperat |
≤5ea/mm,Cumulative length≤2*Diameter |
QUOD' |
|
Retro defectus (ore eu / indents) |
Nullus |
||
Retro asperitatem |
Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
||
Back laser notati |
I mm (a summo ore) |
||
Ore |
|||
Ore |
Chamfer |
||
Packaging |
|||
Packaging |
Epi-paratum in vacuo packaging Multi laganum cassette packaging |
||
*Nota "NA" nullum significat petitionem Items not mentioned may refer to SEMI-STD. |